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直流溅射ＴｅＳｉＢ非晶薄膜的ＴＥＭ原位晶化研究
【机 构】
：
辽宁省分析测试研究中心
【出 处】
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第三届全国青年冶金学术会议暨国家自然科学基金委员会第二届青年学术研讨会
【发表日期】
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1994年期
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