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上海光源(SSRF)是一台第三代同步辐射装置，共计可建造约60 条光束线，目前已建成13 条光束线。光束线的作用是将同步辐射X 射线传输至样品，真空系统是同步辐射光束线的重要组成部分。本文介绍了四极质谱计在上海光源光束线真空系统中的应用，包括残气分析和真空检漏。
四极质谱计在上海光源光束线真空系统中的应用
【摘 要】
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上海光源(SSRF)是一台第三代同步辐射装置，共计可建造约60 条光束线，目前已建成13 条光束线。光束线的作用是将同步辐射X 射线传输至样品，真空系统是同步辐射光束线的重要组
【机 构】
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中国科学院上海应用物理研究所,上海,201800
【出 处】
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中国真空学会质谱分析和检漏专业委员会第十八届年会暨中国计量测试学会真空计量专业委员会第十三届年会
【发表日期】
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2015年期
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