多孔陶瓷材质非球面真空吸附夹具的研究

来源 :第十八届中国磨粒技术学术会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户:jc85858958
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建立了结合同心圆沟槽支撑与多孔陶瓷材质靠模面的真空吸附夹具结构,通过有限元分析并结合实际加工工艺确定多孔陶瓷靠模片厚度为1.5mm。建立了多孔陶瓷非球面真空吸附夹具的加工工艺流程,并完成了直径为45mm的抛物面真空吸附夹具的加工。夹具靠模面的面型精度经检测为PV0.75μm.
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