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超声振动辅助锯切单晶硅的力与力比分析
本文通过金刚石薄锯片在有无超声辅助两种方式下对单晶硅材料进行精密锯切实验,探索超声振动对锯切力与力比的影响.实验结果表明,......
会议
单晶硅
锯切处理
超声振动
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