蓝宝石衬底上低能离子束辅助沉积制备双轴取向YSZ及CeO2/YSZ薄膜

来源 :上海市真空学会第七届学术年会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:yykk110
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  本文采用离子束辅助沉积方法在室温下在蓝宝石衬底上制备了双轴取向的YSZ和CeO2/YSZ薄膜,其X射线(111)ψ扫描半高宽(FWHM)的最佳值分别达到15°和12°.MontoCarlo模拟结果表明轰击离子束的散射对薄膜的平面织构有很大影响,而且这种影响也被实验所证实.原子粒显微镜(AFM)照片表明,与有大晶粒、粗糙表面的YSZ薄膜相比,小晶粒的、光滑且连续的CeO2薄膜结构更有利于平面织构的形成.
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