厚光刻胶相关论文
本文的重点是研究厚光刻肢光刻图形之分辨率、边缘轮廓角与光刻肢厚度及曝光间隙之间的关系,并对实验研究结果作了较为详细的......
SU-8是一种负性近紫外厚光刻胶,它光敏性好,深宽比大,侧壁陡直,抗腐蚀,适用于微机电系统,UV-LIGA和其他厚膜超厚膜应用.该论文研究......
随着微电子机械系统新应用的不断推出,使得特殊制造工艺技术得到空前的发展.在过去的10年里,汽车是微电子机械系统产品商业化的推......
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