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利用KOH对硅化学腐蚀的各向异性特性和硅片静电键合技术制作了垂直结构压电驱动无阀微泵,利用液柱高度差及闭环流动系统测量了泵压和流速.初步结果表明,泵特性除与外加电压有关外,还与压电膜片的厚度有关.
垂直结构无阀微泵的研究
【摘 要】
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利用KOH对硅化学腐蚀的各向异性特性和硅片静电键合技术制作了垂直结构压电驱动无阀微泵,利用液柱高度差及闭环流动系统测量了泵压和流速.初步结果表明,泵特性除与外加电压有
【机 构】
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哈尔滨工业大学MEMS中心
【出 处】
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第四届全国微米/纳米技术学术会议
【发表日期】
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2000年期
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