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温场对晶体生长十分重要。本文测量了采用不同热屏热场的熔硅纵向温度梯度，发现加强复合式热屏使熔体纵向温度梯度增加，能有效的提高单晶的生长速率和晶体内在质量。
热屏对Ф200mmCZSi热系统的温场的影响
【摘 要】
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温场对晶体生长十分重要。本文测量了采用不同热屏热场的熔硅纵向温度梯度，发现加强复合式热屏使熔体纵向温度梯度增加，能有效的提高单晶的生长速率和晶体内在质量。
【机 构】
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河北工业大学材料学院信息功能材料研究所 天津300130 河北宁晋晶隆半导体厂 河北055550
【出 处】
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第八届全国光伏会议暨中日光伏论坛
【发表日期】
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2004年10期
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