随着超光滑光学表面在各个领域的广泛应用,迫切需要一种全面、有效的表征技术来评价和描述超光滑表面。传统评价参数只关注表面高度信息,忽略了横向信息,并且不同条件下的测试结果难以相互比较,因此已不适用于发展的需求。基于表面数据作Fourier变换得到的功率谱密度函数,反映了各个空间频率对表面形貌的影响,能够将覆盖0.01mm(-1)～12800mm(-1)频率范围Zygo干涉仪、显微轮廓仪以及原子力显微镜的测量结果在空间频率区域有效统一,通过对特定频率区间功率谱密度积分得到的均方根粗糙度还可以将测量结果横向比较。不仅如此,二维功率谱密度与双向反射分布函数成正比,可以评价光学表面的散射特性,对于各向同性、各向异性光学表面质量能够明显区分,而且根据分形表达式能够简单有效的表征超光滑表面。