【摘 要】
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一、装置的基本原理当一根石英管处于真空腔中,在石英管中通入微波,处于真空腔内的石英管外表面就形成了表面波。当真空腔体中的气压适当时表面波就能在石英管的表面产生等离
【机 构】
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合肥研飞电器科技有限公司; 安徽循环经济技术工程院; 中国科学院兰州化学物理研究所;
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<正>一、装置的基本原理当一根石英管处于真空腔中,在石英管中通入微波,处于真空腔内的石英管外表面就形成了表面波。当真空腔体中的气压适当时表面波就能在石英管的表面产生等离子体;当多根石英管靠近平行放置形成石英管阵列,多根表面波等离子体将互相叠加,在石英管附近就可以获得大区域均匀的高密度微波等离子体。这种微波等离子体由于密度高,面积大,能辅
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