硅薄膜电池具有原材料丰富、低能耗、工艺简单等优势，然而其较低的转换效率和较差的稳定性使其在发电成本上并不具备优势。为此，国内外发展了新一代硅薄膜太阳电池技术——非晶硅/微晶硅叠层电池，以提高效率和稳定性。本文介绍了南开大学在新型非晶硅/微晶硅叠层电池研究方面的新进展。实现非晶硅/微晶硅叠层电池低成本制造的关键技术主要是高速沉积技术、陷光结构和提高效率的技术。本文研究了高速优质硅薄膜材料的获得，陷光材料结构对硅薄膜材料特性及电池性能的影响，提高非晶硅顶电池、微晶硅底电池及其叠层电池效率的途径等。在研究基础上使5.03mm×5.03 mm非晶硅电池效率在沉积速率15 A/s下达到9.37％，微晶硅电池效率在沉积速率12 A/s下达到9.36％，非晶硅/微晶硅叠层电池的效率达到11.79％，100 mm×100 mm非晶硅/微晶硅叠层电池组件的效率达到10.68％。