【摘 要】
：
利用原子力显微镜观察熔石英酸洗形貌，结合二次离子质谱分析，研究了熔石英的再沉积层结构和抛光杂质分布。酸洗结果表面，熔石英亚表面存在两类划痕，分别为微米级划痕和纳米级划痕。微米级划痕随着酸洗的进行不断展宽变深，纳米级划痕不断展宽但是深度基本不变。抛光过程中较大的抛光粉颗粒承受的机械负载超过一定的阈值，便形成纳米级划痕。蚀刻形貌和杂质嵌入深度及其关联性表明，熔石英基片表面10nm深的再沉积层内存在大量
【机 构】
：
中国科学院上海光学精密机械研究所强激光材料重点实验室,上海 201800;中国科学院大学,北京 100049
论文部分内容阅读
利用原子力显微镜观察熔石英酸洗形貌，结合二次离子质谱分析，研究了熔石英的再沉积层结构和抛光杂质分布。酸洗结果表面，熔石英亚表面存在两类划痕，分别为微米级划痕和纳米级划痕。微米级划痕随着酸洗的进行不断展宽变深，纳米级划痕不断展宽但是深度基本不变。抛光过程中较大的抛光粉颗粒承受的机械负载超过一定的阈值，便形成纳米级划痕。蚀刻形貌和杂质嵌入深度及其关联性表明，熔石英基片表面10nm深的再沉积层内存在大量纳米级划痕和抛光杂质，其分布随着深度指数衰减。由于纳米级划痕的分布特征由抛光过程决定，因此可以根据纳米级划痕密度、宽深比随蚀刻深度变化的规律估算出再沉积层厚度，结果与二次离子质谱测得的杂质嵌入深度基本一致，形成了一种测量再沉积层厚度的新方法。
其他文献
本研究在钛合金表面通过等离子喷涂和激光重熔复合技术制备纳米结构Al2O3-TiO2重熔涂层,重点研究激光工艺对重熔涂层中双模态组织的影响.研究表明，等离子喷涂纳米结构Al203-13wt.％TiO2涂层表现出独特的由完全熔化区和部分熔化区组成的双模态组织特征。激光重熔后，消除了等离子喷涂涂层的层状结构，获得了致密的重熔涂层。纳米结构重熔涂层传承了喷涂态涂层的双模态组织特征。纳米结构重熔涂层的平均硬
首次用Nd,Y:CaF2无序晶体作为激光增益介质,研制出了能够产生百飞秒的超短脉冲激光器,该激光器采用激光二极管泵浦,同时采用当前最普遍的半导体可饱和吸收体作为锁模元件.由于该无序晶体的荧光带宽到达了31nm,因此得到了103fs的最短的脉冲,该脉冲序列的重复频率约为100MHz,最终得到的锁模光谱为12nm,激光器输出的平均功率为89mW.在所有以Nd晶体作为增益介质的超快激光器中,得到的脉冲宽
本文介绍一种直接利用～1.13μm激光二极管(LD)泵浦的Ho:YAG透明陶瓷激光.实验用的Ho:YAG透明陶瓷体积为4.2×4.8×22 mm3,Ho3+掺杂浓度为1at.％.泵源是光纤耦合的激光二极管,波长为1.123～1.130μm,带宽为5nm.实验获得了波长为2099nm的激光输出,功率最大值达到1W,斜率效率为20.6％.在最大功率时,光束的质量因数约为4.
由于激光亮度好、颜色鲜艳、方向性好、相干性高、成型效果好等优点,广泛的被应用于舞台灯光、户外表演、广告媒体等. 德国LPS公司有X-Beam系列、X-blu RGB系列、LPS-Bax系列、LPS-StarLite系列、LPS-Smart Line系列激光表演系统，RGB激光表演系统最大激光功率可达24W。Logo公司的Sparks⑧系列激光系统输出功率高、能量密度高，而且因为它配置了后准直扫描系
本工作利用时间和空间分辨的等离子体光谱测量和分析方法研究了对Al靶烧蚀产生的PLA铝等离子体和对N2气ECR微波放电产生的ECR氮等离子体之间的相互作用和由此形成的ECR-PLA铝/氮等离子体的特性，并与PLA铝等离子体在低气压N2气中膨胀过程进行了比较。结果表明，瞬变的PLA等离子体在连续稳定的ECR等离子体中高速膨胀时两者之间的相互作用导致它们彼此间的延续激发和激发增强，使得形成的ECR-PL
高精度无损探伤仪器需要通过标准伤痕试块实现量值溯源,深窄槽形伤痕的深度测量是一大难点.本文基于光切原理,研制了一台非接触式的标准伤痕检测仪,采用高精度长度计作为标准器,并可实现软件自动瞄准判断.深度测量范围可达10mm,测量不确定度可达U=1.5μm(k=-2),有效解决了高精度无损伤痕探测仪的量值溯源问题.
根据非成像光学理论,提出一种基于复合抛物面聚光器的LED反射器的设计方法,设计了一款半光强出射角为10°的反射器.在光学软件中进行照明模拟,结果表明,用该方法设计的LED全反射透镜能准确的控制出射光角度,并达到较高的能量利用率.应用上述理论，设计了一款远距离照明用投射灯，效果良好。
PURPOSE: Till now the treatment of melasma is complicated and controversial.To search the possibility of duplicatable regimen using single laser treatment of melasma, in this study we designed Q-switc
近十多年来,铁磁半导体(Ga,Mn)As因其在自旋电子学器件中的重要应用价值而受到广泛的关注.但迄今为止最高的居里温度为200K[1],远低于室温,这成为制约其大规模应用的一个巨大障碍.解决这一问题的思路之一于利用铁磁邻近极化效应.08年F.Maccherozzi等人便报道了在Fe/(Ga,Mn)As这种铁磁金属和铁磁半导体异质结发现了靠近铁磁金属一侧的铁磁半导体薄层在室温下仍具有铁磁性[2].C