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会议论文
类金刚石薄膜的光学性能及应用
类金刚石薄膜的光学性能及应用
来源 :2005’全国真空冶金与表面工程学术会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户:yu8886882
【摘 要】
:
本文主要介绍了类金刚石碳膜的光学性能,掺杂氮、氟等元素以及离子注入、辐照、热处理等后处理工艺对类金刚石膜光学性能的影响,并介绍了类金刚石薄膜在光学领域的应用.
【作 者】
:
彭勃
张艳
蔺增
巴德纯
【出 处】
:
2005’全国真空冶金与表面工程学术会议
【发表日期】
:
2005年期
【关键词】
:
类金刚石薄膜
光学性能
类金刚石碳膜
类金刚石膜
后处理工艺
域的应用
离子注入
热处理
元素
辐照
掺杂
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本文主要介绍了类金刚石碳膜的光学性能,掺杂氮、氟等元素以及离子注入、辐照、热处理等后处理工艺对类金刚石膜光学性能的影响,并介绍了类金刚石薄膜在光学领域的应用.
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