【摘 要】
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系统级仿真是MEMS CAD最为关键的重要环节.本文提出用加权残值法(MWR)建立MEMS系统级仿真模型,介绍MEMS系统级仿真的MWR建模原理与方法.由于MWR独特的优点,可以克服目前MEMS建模方法存在的缺点,非常适合MEMS建模,MWR有可能成为MEMS系统级仿真建模的统一理论和方法.
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系统级仿真是MEMS CAD最为关键的重要环节.本文提出用加权残值法(MWR)建立MEMS系统级仿真模型,介绍MEMS系统级仿真的MWR建模原理与方法.由于MWR独特的优点,可以克服目前MEMS建模方法存在的缺点,非常适合MEMS建模,MWR有可能成为MEMS系统级仿真建模的统一理论和方法.
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以玻璃为载体,采用溶胶凝胶法制备纳米晶TiO薄膜,考察不同制备条件对TiO晶型结构和光催化活性的影响,结果表明锐钛矿型的TiO催化活性高于金红石型,且光催化活性与锐钛矿型和金红石型的比例有关.
阐述了半导体激光器有源层纳米尺度引起的量子效应,比较了体材料激光器与量子阱材料激光器的性能差异,说明了材料尺度缩小到一定的限度将带来器件特性的跃变.
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