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众所周知,制备高质量的光学薄膜已经离不开离子束技术。光学膜要求高硬度及高附着力,一般采用离子束清洗加以改善,要求降低由于薄膜吸潮引起波长向长波漂移,降低薄膜的吸收及散射引起的光学损耗,降低薄膜的抗激光损伤,一般均采用合适工艺的离子束辅助镀膜技术来解决。本文叙述了制备光学薄膜的各种常用辅助镀膜离子源工作原理,关键技术,并制表予以比较。