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采用射频磁控溅射法在Pt/Ti/SiO<,2>/Si衬底上制备了钛酸锶钡(简称BST)薄膜材料,利用XPS、XRD、AFM分别研究了BST薄膜的成分、晶体结构和形貌,利用PFM观察到了BST薄膜中的铁电畴,找出了BST薄膜由多畴转变为单畴的临界尺寸在28nm~31nm之间.
钛酸锶钡薄膜的微结构研究
【摘 要】
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采用射频磁控溅射法在Pt/Ti/SiO/Si衬底上制备了钛酸锶钡(简称BST)薄膜材料,利用XPS、XRD、AFM分别研究了BST薄膜的成分、晶体结构和形貌,利用PFM观察到了BST薄膜中的铁电畴,
【机 构】
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电子科技大学微电子与固体电子学院(四川成都)
【出 处】
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第十三届全国化合物半导体材料、微波器件和光电器件学术会议暨第九届全国固体薄膜学术会议
【发表日期】
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2004年8期
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