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射频磁控溅射制备ZnO∶Al薄膜的改性研究
【机 构】
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电子科技大学微电子与固体电子学院 电子薄膜与集成器件国家重点实验室,成都,610054
【出 处】
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第16届全国固态离子学学术会议暨下一代能源材料与技术国际研讨会
【发表日期】
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2012年期
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