【摘 要】
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采用磁控溅射方法在玻璃衬底上使用掺杂3％（质量分数）Al2 O 3的 ZnO 陶瓷靶材制备出了掺铝氧化锌（ZnO ∶ Al,AZO）透明导电薄膜.分别用XRD、SEM、四探针测试仪、紫外-可见分光光度计
【机 构】
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中国建筑材料科学研究总院,国家玻璃深加工工程技术中心,绿色建筑材料国家重点实验室
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采用磁控溅射方法在玻璃衬底上使用掺杂3％（质量分数）Al2 O 3的 ZnO 陶瓷靶材制备出了掺铝氧化锌（ZnO ∶ Al,AZO）透明导电薄膜.分别用XRD、SEM、四探针测试仪、紫外-可见分光光度计对薄膜的性能进行了表征和分析.研究了溅射过程中不同氩气压强（0．3-1．2 Pa）对薄膜结构、形貌及光电性能的影响.XRD 测试结果表明,所制备的薄膜均具有呈c 轴择优取向的纤锌矿结构.当氩气压强为0．3 Pa时,AZO 薄膜的电阻率最低为6．72×10^-4Ω·cm.所有样品在可见光波
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