论文部分内容阅读
该文介绍了一种以扩散硅力敏元件为主体的双轴加速度计，它具有同时可以测试两个方向振动的功能。
压阻式双轴加速度计
【摘 要】
：
该文介绍了一种以扩散硅力敏元件为主体的双轴加速度计，它具有同时可以测试两个方向振动的功能。
【机 构】
：
部第49研究所
【出 处】
：
第四届全国敏感元件与传感器学术会议
【发表日期】
：
1995年期
其他文献
该文介绍了一种硅电容加速度传感器的设计和研制，通过采用新型三维无掩模腐蚀工艺，形成对称梁差动电容结构以减小传感器的横向效应。同时讨论了器件的静态特性和阻尼特性，提出减
该文利用随机振动信号做激励源，研究了数种加速度传感器在随机信号激励下的动态误差随频率的分布规律，并对动态误差值进行了定量计算，结果指出，传感器在动态工作状态下，对信号或多
该文介绍了两种新颖的微机械传感器－谐振式微机械陀螺和静电伺服加速度传感器的制作工艺和测试结果，研究表明该传感器工艺简单易控，适合于大批量生产，有很好的应用前景。
北京新发地农产品批发市场的大门与其他普通市场大门有明显不同,具备安检、关卡等一系列设施。据了解,类似这样的出口在市场有9个。每天早上是蔬菜的旺销时刻,很多菜品都是在
树立风格：从整体构成上看党报版面改革张皖春在今天报纸林立的情形下，兼及冲击力更强的电视传媒影响，党报既要更多地肩负政治宣传和正确引导舆论任务，又要创造生动活泼、喜闻乐见
该文结合实际器件设计，对三种压阻式加速度传感器－悬臂梁、四梁和双岛－五梁结构进行了力学分析和特性比较，得到了理论计算的灵敏度、固有频率和横向效应等特性，器件的测试结果表明
该文利用新型半导体敏感材料和工艺，研制出GJL型硅—兰宝石加速度传感器，为半导体压阻式传感器开拓了一条新路。文章对兰宝石的性能、硅—兰宝石外延材料的特点，力敏应变及力敏