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该文结合实际器件设计，对三种压阻式加速度传感器－悬臂梁、四梁和双岛－五梁结构进行了力学分析和特性比较，得到了理论计算的灵敏度、固有频率和横向效应等特性，器件的测试结果表明实验数据与理论计算值相符。
三种结构的压阻式加速度传感器特性比较
【摘 要】
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该文结合实际器件设计，对三种压阻式加速度传感器－悬臂梁、四梁和双岛－五梁结构进行了力学分析和特性比较，得到了理论计算的灵敏度、固有频率和横向效应等特性，器件的测试结果表明
【机 构】
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大学
【出 处】
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第四届全国敏感元件与传感器学术会议
【发表日期】
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1995年期
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