Φ4″NTDCZ硅单晶的研制

来源 :第十三届全国半导体集成电路、硅材料学术会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:ellenaic
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采用中子辐照掺杂直拉硅单晶(NTDCZ)技术生产高均匀性电阻率的Φ4″晶体,合理的后退火工艺是消除氧热施主和辐照施主干扰电阻率均匀性的关键,850℃4小时退火、适当的冷却工艺是获得高质量单晶比较合适的条件.
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