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该文阐述生长Φ１２０ｍｍ多晶硅棒的工艺技术，给出了生产试验结果，提出了在已有技术基础上进一步提高炉产量、降低消耗的设想。
Φ120mm多晶硅棒的制备
【摘 要】
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该文阐述生长Φ１２０ｍｍ多晶硅棒的工艺技术，给出了生产试验结果，提出了在已有技术基础上进一步提高炉产量、降低消耗的设想。
【机 构】
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第二冶炼厂
【出 处】
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1998年全国半导体硅材料学术会议
【发表日期】
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1998年期
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