【摘 要】
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本文介绍一种体积小、测量范围广、可靠性好、带有过载保护四膜片结构的差压传感器.这种差压传感器外形尺寸为:φ56×36mm;测量范围:1kPa～400kPa;静压或单向耐压:16MPa;工作温
【机 构】
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沈阳仪表科学研究院,辽宁,沈阳,110043
【出 处】
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第九届全国敏感元件与传感器学术会议
论文部分内容阅读
本文介绍一种体积小、测量范围广、可靠性好、带有过载保护四膜片结构的差压传感器.这种差压传感器外形尺寸为:φ56×36mm;测量范围:1kPa～400kPa;静压或单向耐压:16MPa;工作温区:-30℃～80℃;精度:0.2﹪F·S;稳定性:0.2﹪F·S/年,可测量带静压式的罐体内测量液位、带静压管路中的流量等参数.本差压传感器内部结构有四个金属膜片,膜片作为弹性体可将被测介质压力信号通过硅油传递到传感器芯片上.其中有两个膜片为差压传感器保护膜片(δ=0.05),两个膜片为中心膜片(厚度随量程的大小而定).本差压传感器芯片可采用硅压阻式、硅电容式等芯片.差压传感器输出信号.接口、安装方式、外型符合标准型工业仪表的要求.
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