高精度、耐高温、快速响应多路压力传感器测试装置的研制

来源 :第九届全国敏感元件与传感器学术会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户:cjing010
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本文介绍的多路压力传感器测试装置是以多路差压传感器的输出信号为基本的检测单元,同时在测试装置内设置一个标准的参考压力源,从而准确测量出多个测试点相对真空的压力值.该装置研制的传感器采用耐高温设计方式,可以在较宽的温度范围内稳定地工作.传感器同时具有高精度、高频响的特点,多路信号切换时间短.整体测试装置均适合于快速响应的检测现场.本文将具体从传感器、信号处理与传输及整体结构设计几个方面加以分析,同时给出整体实际测试数据.
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