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本文介绍了溅射薄膜压力传感器的主要制造工艺,以及溅射薄膜压力传感器及其扩展产品的型号应用.溅射薄膜压力传感器采用了现代薄膜工艺技术,用陶瓷介质代替了传统应变式压力传感器的粘贴胶层,并采用先进的离子束溅射沉积和离子束溅射刻蚀工艺制作桥臂电阻.
溅射薄膜压力传感器研制及应用
【摘 要】
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本文介绍了溅射薄膜压力传感器的主要制造工艺,以及溅射薄膜压力传感器及其扩展产品的型号应用.溅射薄膜压力传感器采用了现代薄膜工艺技术,用陶瓷介质代替了传统应变式压力
【机 构】
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中国航天科技集团公司第七0四所北京100076
【出 处】
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第九届全国敏感元件与传感器学术会议
【发表日期】
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2005年8期
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