乐甫波的液体粘度传感研究

来源 :2014年全国几何量精密测量技术学术交流会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:guoxuemei123
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利用部分波理论和边界条件精确推导,对“粘性液体/非压电薄膜/压电基底”3层乐甫波结构建模,分析得出随叉指周期变小,液体粘度灵敏度提高,传播衰减增大;随“薄膜厚度与波长之比”增大,液体的粘度灵敏度随之先减小再增大,液体密度灵敏度几乎为零.优化设计了以36°钽酸锂和SiO2为基底和薄膜的乐甫波器件,制作并测试实物,实验结果与数值仿真基本一致,表明了理论模型的正确性.
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