【摘 要】
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在微波管研制过程中,电子枪真空除气是决定电子管品质最为重要的工序,其主要作用是对阴极进行预加热,获得灯丝伏安特性与温度的关系,模拟电子枪正常工作时的电流、电压及
【机 构】
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中国科学院电子学研究所高功率微波源与技术实验室,北京,101400
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在微波管研制过程中,电子枪真空除气是决定电子管品质最为重要的工序,其主要作用是对阴极进行预加热,获得灯丝伏安特性与温度的关系,模拟电子枪正常工作时的电流、电压及所需真空度；阴极被加热使其充分预蒸散,减小电子枪工作时的放气速率.根据微波管电子枪结构特点和性能要求,研制和开发了具有阴极表面温度测量功能的双工位电子枪预除气台,极限真空度可达2？10-7Pa,阴极灯丝电流值调节范围0-40A.预除气台由直联泵作为前级泵、分子泵和离子泵为主泵构成超高真空系统,采用真空计和阀门的切换可实现每个工位系统独立或同时工作且获得超高真空,有效节省了小批量电子枪的除气时间.每个工位均配置“分子泵启动允许”、“离子泵启动允许”、“分解电源开允许”及“真空异常”指示灯,防止误操作对电子枪部件或除气台带来损坏.一系列实验数据验证了预除气台的工作原理、结构设计和优良性能.预除气台超高真空度、宽量程的电流调节功能适用于不同型号电子枪(见图1),在电子枪小批量生产过程中具有重要的应用价值和意义.
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