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分子泵作为获取高真空的主要设备,得到广泛应用,近年来中国在分子泵研发方面也取得长足的进步.本文介绍了包括我国自主研发的磁悬浮分子泵、仪器专用分子泵等国产分子泵的最新进展及未来发展方向.
中国分子泵发展趋势及现状
【摘 要】
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分子泵作为获取高真空的主要设备,得到广泛应用,近年来中国在分子泵研发方面也取得长足的进步.本文介绍了包括我国自主研发的磁悬浮分子泵、仪器专用分子泵等国产分子泵的最
【机 构】
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北京中科科仪股份有限公司
【出 处】
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中国真空学会2014年年会
【发表日期】
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2014年11期
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