一种CMOS多层金属螺旋电感宽频带等效电路模型

来源 :2004全国第十届微波集成电路与移动通信学术会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户:chinajswgh
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本文提出了一种基于CMOS工艺多层金属螺旋电感宽频带等效电路模型.对于多层金属螺旋电感,传统基于频变参量的等效电路模型已不再适用,而本模型引入RL枝节和互感来表征层间金属趋肤效应和邻近效应,用并联RC枝节来表征同层金属和不同层间金属在衬底的耦合效应.此模型以0.35μm2P4M硅工艺制造的电感验证,测量结果与模型仿真结果在宽频带均具有良好的一致性.
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