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利用化学气相沉积结合树脂浸渍炭化工艺制备了多晶硅氢化炉用炭/ 炭发热体材料，并在多晶硅氢化炉实际环境下进行试用。对试用后的炭/ 炭发热体材料进行了SEM、XRD、EDS分析，并结合热力学数据进行了化学反应的热力学计算。结果表明：炭/ 发热体材料在SiCl4和H2气氛下，中间相气体SiH2Cl2和反应产物SiH3Cl与炭/ 炭发热体材料的基体炭发生化学反应生成碳化硅，碳化硅晶体呈棱状方式相互交叠在一起。