【摘 要】
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超大规模集成电路(ULSI)已经成为我国发展的关键产业之一。近几年来，连续引进和建设了多条生产线，其中包括上海华虹NEC、中芯国际(上海)、宏力、宁波中纬、苏州和舰科技等8”以上水平的生产线。超大规模集成电路生产的关键材料之一就是光刻胶。光刻胶的性能和光刻技术的选用将主宰其成败。现就ULSI配套材料248nm(KrF)光刻胶作一简要介绍。
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超大规模集成电路(ULSI)已经成为我国发展的关键产业之一。近几年来，连续引进和建设了多条生产线，其中包括上海华虹NEC、中芯国际(上海)、宏力、宁波中纬、苏州和舰科技等8”以上水平的生产线。超大规模集成电路生产的关键材料之一就是光刻胶。光刻胶的性能和光刻技术的选用将主宰其成败。现就ULSI配套材料248nm(KrF)光刻胶作一简要介绍。
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