【摘 要】
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随着TSV加工工艺出现,TSV填充后的硅的结构变化引起了人们越来越多的关注。由于微机械加工工艺(如溅射、光刻等)会在微结构中造成应力分布。已有的实验力学测量方法,难以适应
【机 构】
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北京航空航天大学航空科学与工程学院,北京100191
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随着TSV加工工艺出现,TSV填充后的硅的结构变化引起了人们越来越多的关注。由于微机械加工工艺(如溅射、光刻等)会在微结构中造成应力分布。已有的实验力学测量方法,难以适应微尺度领域所涉及的微器件或复合结构无损测量问题。微拉曼光谱法在微尺度测量方面具有独特的优势:无损、无接触、空间分辨率高,光谱范围大且频移不受激光光源频率限制等。拉曼实验对测量微结构的应力具有重要意义。
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