【摘 要】
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由于金属互连线几何尺寸的限制，其热疲劳性能很难通过传统的测试方法进行有效评估。交流电热疲劳法是一种目前针对互连线结构热疲劳行为的有效的研究方法。对受基体约束的金属线施加交流电以产生焦耳热，由于薄膜与基体的热膨胀系数不同，当温度周期性变化时，就会在薄膜上产生热循环应力/应变，由此诱发热疲劳损伤。
【机 构】
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中国科学院金属研究所沈阳材料科学国家(联合)实验室,沈阳 110016;中国科学技术大学材料科学与工程学院,沈阳 110016
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由于金属互连线几何尺寸的限制，其热疲劳性能很难通过传统的测试方法进行有效评估。交流电热疲劳法是一种目前针对互连线结构热疲劳行为的有效的研究方法。对受基体约束的金属线施加交流电以产生焦耳热，由于薄膜与基体的热膨胀系数不同，当温度周期性变化时，就会在薄膜上产生热循环应力/应变，由此诱发热疲劳损伤。
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