北师大GIC 4117 2×1.7MV串列加速器运行应用情况

来源 :第四届全国高压型加速器技术及应用学术交流会 | 被引量 : 0次 | 上传用户：ZYXN

【摘要】

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北京师范大学分析测试中心的GIC 4117型2×1.7MV串列加速器近几年来运行正常.高能注入靶室改进后,可注入4英寸硅片.目前,此器主要用于大气气溶胶的PIXE分析,微波功率晶体管高能离子注入工艺、离子注入植物干中子诱变育种的应用和机理研究,以及固体材料的RBS分析.

【作者】

：

王广甫

【机构】

：

北京师范大学分析测试中心

【出处】

：

第四届全国高压型加速器技术及应用学术交流会

【发表日期】

：

2004年6期

【关键词】

：

串列加速器 PIXE 高能离子注入 RBS GIC 4117 2×1.7MV型

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