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在强流溅射源靶阴极与阳极之间的绝缘套筒上加上内外金属屏蔽帽,从而降低了束流杂质,提高了束流的纯度和强度.
强流溅射源束流杂质的分析和消除
【摘 要】
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在强流溅射源靶阴极与阳极之间的绝缘套筒上加上内外金属屏蔽帽,从而降低了束流杂质,提高了束流的纯度和强度.
【机 构】
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中国原子能科学研究院核物理所
【出 处】
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第四届全国高压型加速器技术及应用学术交流会
【发表日期】
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2004年6期
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