二维分布规则尺寸激光在线检测方法的研究

来源 :第二届全国光电技术与系统学术会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户:ioryfei913
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该文就二维分布规则尺寸激光在线测试提出了激光—傅里叶变换法。在该方法中,测量系统的一次采样即是被测量的一次平均。由于采用CCD器件接收二维傅里叶频谱,使被测物体被连续采样或全扫描。既可实现静态测量,又可进行动态测量。它可用于测量能够产生规则付里叶变换频谱的所有被测物体。(本刊录)
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