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晶体/非晶纳米叠层材料具有优异的力学性能,然而如何通过调控微观结构实现可控的变形和断裂行为是一个关键问题.本研究采用磁控溅射分别制备了三种相同调制周期(即非晶层厚度与晶体层厚度之和~100nm)、不同调制比(即非晶层厚度与晶体层厚度之比~0.1-9.0)的Ag/Cu-Zr 和Mo/Cu-Zr 晶体/非晶多层膜,通过单轴拉伸实验系统研究了不同调制结构多层膜的拉伸延性和断裂模式,并对其微观组织演变进行了表征.