石英振梁加速度计抗冲击性能研究

来源 :第十二届全国敏感元件与传感器学术会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户:Richie911
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  建立了石英振梁加速度计的力学模型,从理论上分析了其在半周正弦冲击载荷作用下的动态响应特性。通过有限元分析软件ANSYS分别对加速度计敏感结构在x,y,z三个方向的冲击响应特性与失效模式进行了预测。针对敏感结构在z向抗冲击能力差的特点,提出在芯片级采取限位防护的技术方案,并利用LS-DYNA显式分析软件进行仿真验证分析。最后,对研制的加速度计的抗冲击特性进行了试验验证,测试结果表明,x、y向可承受1000g冲击,z向可承受5000g冲击,基本验证了有限元计算的结果,达到了预期的设计目标。
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