【摘 要】
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高频超声换能器是超声成像系统中的重要组成部分,其性能直接影响成像分辨率。结合铌酸锂反转层材料的高频特性及微凹型工艺的聚焦特性,提出了一种微凹型反转层器件,并用
【机 构】
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清华人学精密仪器与机械学系,北京,100084
【出 处】
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第十二届全国敏感元件与传感器学术会议
论文部分内容阅读
高频超声换能器是超声成像系统中的重要组成部分,其性能直接影响成像分辨率。结合铌酸锂反转层材料的高频特性及微凹型工艺的聚焦特性,提出了一种微凹型反转层器件,并用于制作高频宽带聚焦超声换能器。利用氢氟酸进行刻蚀后,观察了微凹型反转层器件的电畴结构分布,测量了其电阻抗特性,并制作了高频超声换能器。实验表明,微凹型换能器中心频率72MHz,-6dB带宽为136％,插入损耗为-32dB,能够适用于小动物浅表器官成像。
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