InAs/GaSb Ⅱ型超晶格的MOCVD生长

来源 :第13届全国MOCVD学术会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户:shagen_gw
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因具有特殊的错开型能带结构,InAs/GaSb Ⅱ型超晶格材料在红外探测领域具有广泛的应用前景,是目前国际上的研究热点[1-3].与传统红外探测材料碲镉汞相比,InAs/GaSb Ⅱ型超晶格具有大面积均匀性好、响应波段范围宽、隧穿电流小、俄歇复合率低等优点,是制作大面积焦平面红外光电探测器的理想材料[2].
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