【摘 要】
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采用可溶性无机盐为原料,利用溶胶-凝胶法分别在AlO和Si(111)/SiOTi/Pt的衬底材料上制备了SrBiTaO铁电薄膜.通过SEM及XRD等微观分析手段,研究了不同衬底材料对凝胶膜与晶态膜
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采用可溶性无机盐为原料,利用溶胶-凝胶法分别在Al<,2>O<,3>和Si(111)/SiO<,2>Ti/Pt的衬底材料上制备了SrBi<,2>Ta<,2>O<,9>铁电薄膜.通过SEM及XRD等微观分析手段,研究了不同衬底材料对凝胶膜与晶态膜的开裂情况、成相情况、晶体取向及微观结构等方面的影响,从实验和理论方面进行了探讨,为无机盐溶液源制备SrBi<,2>Ta<,2>O<,9>铁电薄膜提供了研究基础.
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