【摘 要】
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该文简要地回顾了传感技术的发展历史和现状，指出微传感器中当今世界的发展潮流。声表面波传感器是微型物性型传感器的一个分支。由于它所特具的众优点和广泛的应用前景，引起了
【出 处】
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中国仪器仪表学会精密机械分会99'精密工程学术讨论会
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该文简要地回顾了传感技术的发展历史和现状，指出微传感器中当今世界的发展潮流。声表面波传感器是微型物性型传感器的一个分支。由于它所特具的众优点和广泛的应用前景，引起了世界各发达国家科技界、产业界的极大举，成为近十年来开发研究的热点之一。该文着重叙述了声表面波传感器的基本工作原理、基本型式、主要特点以及它有各个邻域中已经和可以预见的应用，从而可看出它将在信息产业中所起的重要作用。
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