【摘 要】
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类金刚石(DLC)纳米薄膜具有优异的物理和化学性质外，还具有表面光滑、摩擦系数小等优点，可望应用在工模具涂层材料。本文利用等离子体气相化学沉积(PECVD)的方法制备类金刚石(DLC)纳米薄膜，利用原子力显微镜、FTIR光谱、接触角测试仪分别表征纳米薄膜的形貌、成分和表面性能，并利用原子力显微镜在不同超声激励下测量其摩擦力，分析不同放电功率、不同放电时间及单体比例纳米薄膜的摩擦性变化趋势。结果表明
【机 构】
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类金刚石(DLC)纳米薄膜具有优异的物理和化学性质外，还具有表面光滑、摩擦系数小等优点，可望应用在工模具涂层材料。本文利用等离子体气相化学沉积(PECVD)的方法制备类金刚石(DLC)纳米薄膜，利用原子力显微镜、FTIR光谱、接触角测试仪分别表征纳米薄膜的形貌、成分和表面性能，并利用原子力显微镜在不同超声激励下测量其摩擦力，分析不同放电功率、不同放电时间及单体比例纳米薄膜的摩擦性变化趋势。结果表明：接触角随着比例的变化较大，随功率和时间的变化不大。这一现象应该是由碳的sp3和sp2键决定，随着Ar的增加，发现C由亚稳态的sp3键向sp2键转化。随着功率的增加，耐摩擦系数增大，位于波数3000-2800cm-1之间的C-Hn吸收峰的强度也逐渐增大。
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