论文部分内容阅读
系统阐述微机电系统及微机电系统技术的加工工艺、测试技术、研究课题、应用前景.最后就微机电系统与技术的发展前景及其国内外发展的动态进行展望.
微机电系统(MEMS)技术及其动态
【摘 要】
：
系统阐述微机电系统及微机电系统技术的加工工艺、测试技术、研究课题、应用前景.最后就微机电系统与技术的发展前景及其国内外发展的动态进行展望.
【机 构】
：
厦门大学机电系(厦门)
【出 处】
：
第五届全国微米/纳米技术学术会议
【发表日期】
：
2001年10期
其他文献
文中叙述了临界角度传感器的基本原理、性能特点,并给出了角度传感器的校正方法.结合该传感器在原子力显微镜中的实际应用所表现出来的特性,分析了其在纳米测试技术中的应用
人字形桥梁结构行为复杂,影响结构动力特性的因素较多,为较好把握其受力行为,有必要对人字形桥梁结构进行动力特性的研究。通过空间梁格的分析方法对典型人字形桥梁进行简化
随着微机械加速度计和陀螺仪的精度的不断提高,微型惯性测量单元开始应用于军事和民用领域.MIMU/GPS组合导航系统将以体积小、成本低、精度高、可靠性好代替目前用的车载导航
介绍了使用控制开关的应用背景、基本功能要求,建立了MEMS使用控制开关的结构模型、分析了基本功能单元的工作原理.作者还结合文献报道实例,讨论了引信安全确保应用中MEMS使
文中针对盾构隧道施工过程中数值模拟常用的有限单元法和有限差分法的基本原理和应用特点进行对比分析的前提下,基于通用软件Ansys和Flac3D,对某地铁隧道盾构施工过程中的地
在介绍机械密码锁的工作原理基础上,提出了微机械密码锁对微马达的性能要求,并对几种国内外研制较成功的微马达进行了分析,并涉及到了相应的制造工艺.
为了研究圆钢管与混凝土之间的粘结强度,以长细比、径厚比、套箍系数及含钢率为设计参数进行了9个圆钢管混凝土试件的推出试验(push-out test)。通过对推出试件荷载-滑移曲线
介绍了多孔硅的形成机理和用电化学腐蚀制备多孔硅的几种方法.由于多孔硅的多孔特性,气体可以很容易扩散进去,减少了硅的氧化时间.作为微机械加工的牺牲层材料,多孔硅在微加
文章论述了温度控制技术原理,简单介绍了温度控制技术的发展历史和现状。主要针对温度控制领域中的理论,特别是综述了现在应用较多的PID控制技术进行了系统地分析。同时结合