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成長ScAlN薄膜淤LiNbO3基板上應用淤表面聲波元件
【机 构】
:
國立成功大學材料科学學舆工程學系
【出 处】
:
2015第十一届海峡两岸薄膜科学与技术研讨会
【发表日期】
:
2015年期
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