Ni基合金衬底上ScAlN薄膜的制备与研究

被引量 : 1次 | 上传用户:w359624042
下载到本地 , 更方便阅读
声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架
论文部分内容阅读
通过类似悬臂梁的机械结构对环境中振动能自动收集的微型器件对于日益小型化的微型系统具有非常重要的意义。其中,压电薄膜式系统具有体积微小、质量轻、转化率高等优势,是最有潜力的一种振动能收集方式。部分研究者将精力集中在高分子类的柔性衬底上。然而,高分子柔性衬底具有一些固有缺陷:不能承受高温、在机电系统中必须制备下电极从而形成金属-绝缘材料-金属(M-I-M)的结构。因此,一种哈氏合金(C276)将因其耐高温、导电的特性而成为具有研究意义的柔性衬底。在各种压电材料中,具有c轴取向的AlN薄膜因其各种优异性能
其他文献
冷库用翅片蒸发器是冷冻冷藏设备中的重要组成部分,近年来如何通过合理的技术手段提高冷库用翅片蒸发器的性能成为研究热点。在现有技术中,可以通过提高传热系数、增大换热面积以及提高换热温差等方式来改善翅片蒸发器的传热性能。在提高换热系数的方法中增强翅片侧气流扰动、采用强化管和改变翅片结构都能提高传热系数,但会增加制造成本和翅片蒸发器耗功;增大换热面积可以通过采用内螺纹管和改变翅片蒸发器结构来实现,但金属消
学位
随着可燃冰利用技术的快速发展,对可以贮存和储藏可燃冰的环境的要求越来越高,对贮存可燃冰环境的性能探究也达到了新的高度。所以,人们对可燃冰低温环境贮藏空间的探究已经被提上的研究日程,越来越多的研究所和高校开展了此类的课题。对于可以贮存可燃冰的低温环境的研发,最为行之有效的方法就是建造超低温环境实验室,由于超低温环境实验室对实验工况要求较高,双级压缩系统则成为了为其提供良好运行基础的重要保障。低温环境
学位
随着环境问题日渐引起人们的广泛关注,制冷行业也加快了制冷剂更新换代的步伐。近年来,各种环境友好型绿色制冷剂依次被推出,目的就是在于保护臭氧层、减少温室效应,其中作为R410A替代制冷剂的R32,以优良的热力性能和环保特性成为了广受业界看好的替代制冷剂之一,但由于制冷剂和冷冻机油互溶性的要求,R32专用油的开发一直成为阻碍其实用化的障碍之一。为研究R32与油互溶性及其对空调性能的影响,本文依次搭建了
学位
顶排管作为冷冻冷藏库内常用的冷却设备之一,在冷库降温过程中具有诸多优势。但其自然对流换热过程的复杂性,整个换热过程包括导热、对流以及辐射三种形式,导致对自然对流条件下的冷却排管理论分析求解比较困难。目前,对顶排管的设计选型计算换热系数一般都是采用一些经验值,或按相关的设计规范确定。这些方法给出的换热系数不能满足实际设计要求,因此有必要对其进行深入的研究。本文通过参照冷风机性能测试的规范标准,深入分
学位
在当今社会,经济文化与科学技术的发展极大化的丰富了人们的物质生活。然而,物质上的富足使人们更注重精神上的情感需求。在产品设计日趋多元化的时代,充分重视人的心理及情感需求的情感化设计已受到广泛关注。家居灯具作为日常生活的照明工具,也要满足使用者心理和情感需求。本文选取家居灯具为具体导入情感化设计的载体,以时间段的划分为纵轴,以家居灯具的功能、形态、设计思想和科学技术等为横轴,纵横交错,深入分析了各时
学位
在经济快速发展的今天,工业生产越加趋于集中、高效。传统制冷灌注产业在数据采集、数据信息验证和设备运行监控等方面依旧采用传统人工或半自动化方式,这种保守的生产方式在经济快速发展的今天必然会成为制冷产业发展的短板,也不符合国家提出的“创新、协调、绿色、开放、共享”的经济发展理念。目前我国很多企业还不能实现生产数据及时、准确的提供到管理层中,这将阻碍企业决策、管理优化等自动化办公系统的应用。为了解决传统
学位
柔性机构因其轻质,高效等优点被广泛应用于机器人领域。但柔性机构易产生弹性振动,使机器人的定位精度降低。采用合适的控制策略可有效抑制柔性机构的振动。柔性机构的振动控制可分为被动控制和主动控制,其中基于压电陶瓷(PZT)材料的主动控制相比于被动控制具有机构简单,压电转换效率高等优点。本文基于欧拉伯努利梁理论,以悬臂梁结构代替单自由度柔性机器人,对由悬臂梁,PZT传感器及PZT驱动器构成的振动控制系统进
学位
人类不断增加的消费欲和不为回收考虑的设计使得地球的资源面临很大的挑战。要如何在合理的情况下解决这两者之间的问题。就成为一个当代设计工作者的首要任务和职责。“废弃自行车材质再设计应用研究”作为毕业设计的一个尝试,目的是使得设计发展与环境保护之间可以找到一个可持续发展的道路,在遵循“物尽其用”的前提下,实现尽可能少的自然资源被浪费在这个过程中,通过对相关理论的学习,整理出一些重要的思想,并试着以这些思
学位
排污许可证制度是国际通行的一项环境管理制度。近年来,我国将排污许可证制度作为固定点源管理的核心制度,必将极大地提升点源管理的科学化和精细化程度。排污许可限值的确定是许可证管理中的重要环节,是固定点源污染物排放的依据,对于许可证制度的顺利实施具有重要意义。本论文对比研究了国内外基于技术的排污许可限值确定方法,分析我国现有方法的不足,借鉴美国和欧盟的经验,提出了适合于我国水污染控制与管理实际情况的许可
学位
森林是陆地生态系统的重要组成部分,对人类生存有着十分重要的意义。其中,森林生物量不仅是生态系统生产力重要的评估指标,也是反映森林生态环境的重要因子。同时,森林生物量在全球碳循环、水循环和能量循环中也起到了重要的作用。由于遥感技术具备快速、准确、对目标无破坏性并能进行宏观监测的优势,使其为大尺度森林生物量的估测和高时间分辨率的动态变化研究提供了便捷的途径。同时,不同类型遥感数据记录着森林不同层面信息
学位