【摘 要】
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针对微波无源器件表面处理工艺研究中的微波损耗特性问题,采用谐振腔Q值测量法进行了表面电阻测试.依据谐振腔Q值与表面电阻成反比的关系,通过以待测金属面构成圆柱谐振腔上端面并测量由此造成的Q值变化,得到待测金属面的表面电阻及相应的电导率值.对银、铜、铝三种金属表面的机加样及光刻处理样进行了测试,结果表明该方法行之有效.为了解决较低频段测试时要求待测样面积大小较大的问题,提出了介质填充法减小对待测样的大
【机 构】
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西安交通大学电子与信息工程学院,西安710049 空间微波技术国家重点实验室,西安710100
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针对微波无源器件表面处理工艺研究中的微波损耗特性问题,采用谐振腔Q值测量法进行了表面电阻测试.依据谐振腔Q值与表面电阻成反比的关系,通过以待测金属面构成圆柱谐振腔上端面并测量由此造成的Q值变化,得到待测金属面的表面电阻及相应的电导率值.对银、铜、铝三种金属表面的机加样及光刻处理样进行了测试,结果表明该方法行之有效.为了解决较低频段测试时要求待测样面积大小较大的问题,提出了介质填充法减小对待测样的大小要求,并进行了理论验证.
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