电子束与激光束的发展进入相辅相成的新时期

来源 :中国电工技术学会第四届电子束离子束学术年会第二届电子束焊接学术年会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:lm20090910
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利用电子束研制出0.4μm,的掩模板,通过接触光刻,在GaAs片上两次曝光研制出12GHz的微波器件。
会议
本文介绍了焊接气孔产生的原因,根据电子束非穿透焊缝根部气孔及穿透焊缝内部气孔的形成机理,提出了减少气孔的焊接工艺措施。
该文较详细地介绍了低气压金属锥筒对强相对性电子束进行聚焦的物理过程和数学处理方法。提供了少量的数值模拟和解析的数据,浅淡了预脉冲的影响。(本刊录)