扫描电子束在绝缘衬底上生长单晶硅薄膜（ＳＯＩ）的实验研究

来源 :第七届全国电加工学术年会 | 被引量 : 0次 | 上传用户：a111222aaa

【作者】

：

林世昌张国炳

【机构】

：

中国科学院电子学研究所

【出处】

：

第七届全国电加工学术年会

【发表日期】

：

1993年期

【关键词】

：

扫描电子束绝缘衬底单晶硅薄膜

下载到本地 , 更方便阅读

下载此文赞助VIP

声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架

论文部分内容阅读

蔚

其他文献

EBW-7G-2型电子束焊机电气控制系统的技术改造

ＥＢＷ－７Ｇ－２型电子束焊机是该公司研制的一台汽车齿轮专用的、具有双工位既可人工操作、又可由微机控制的焊机。通过几年来生产线上的运行实践，焊机暴露了许多问题，微机系统在实时控制的可

会议

电子束焊机电气控制系统抗干扰能力运行实践微机系统微机控制实时控制生产线上人工操作汽车齿轮改造问题电控系统双工位可靠性技术

电子束、离子束、与兰宝石（α－Ａｌ＃-[2]Ｏ＃-[3]）相互作用的研究

会议

电子束离子束

用于航空轴承表面强化的强流离子注入机

该文简述了该所用于航空轴承表面强化的离子注入机改造的技术要求，并对该设备以及运行效果作了简介。经离子注入的轴承，其地面试验寿命提高（２－３）倍以上。并在发动机台架上顺利通过了

会议

航空轴承表面强化离子注入机寿命考核低周循环疲劳发动机台架运行效果寿命提高技术要求地面试验设备起动改造

电子束打靶试验的命中问题

会议

电子束打靶试验

多能谱电子束的获得及性能

会议

能谱电子束

强电子束泵浦XeCl准分子激光反应动力学

会议

电子束泵浦准分子

１２ＧＨｚ的微波电路的研制

利用电子束研制出０．４μｍ，的掩模板，通过接触光刻，在ＧａＡｓ片上两次曝光研制出１２ＧＨｚ的微波器件。

会议

微波器件两次曝光掩模板电子束光刻

汽轮机隔板真空电子束焊接工艺研究

会议

汽轮机隔板真空电子束

10W强流电子束加速器

会议

强流

电子束焊接气孔的控制

本文介绍了焊接气孔产生的原因，根据电子束非穿透焊缝根部气孔及穿透焊缝内部气孔的形成机理，提出了减少气孔的焊接工艺措施。

期刊

电子束焊焊缝气孔焊接质量控制

扫描电子束在绝缘衬底上生长单晶硅薄膜（ＳＯＩ）的实验研究

与本文相关的学术论文