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报导了一种新型ＳＯＩＭ结构微压力传感。采用硅一硼硅酸盐玻璃封接技术、单晶硅μｍ级减薄技术、应用集中金属梁膜的制作技术，研制出耐高温、抗冲击、极限压力高的新型微压力传感器。
采用硅—硼硅玻璃—金属复合结构的新型微压力传感器
【摘 要】
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报导了一种新型ＳＯＩＭ结构微压力传感。采用硅一硼硅酸盐玻璃封接技术、单晶硅μｍ级减薄技术、应用集中金属梁膜的制作技术，研制出耐高温、抗冲击、极限压力高的新型微压力传感器。
【机 构】
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工业部第49研究所
【出 处】
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第四届全国敏感元件与传感器学术会议
【发表日期】
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1995年期
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